技術(shù)編號：2926984
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于在粒子光學(xué)系統(tǒng)中使用的物鏡排布結(jié)構(gòu)(arrangement)。另外，本發(fā)明涉及粒子光學(xué)射束系統(tǒng)和粒子光學(xué)檢查系 統(tǒng)。本發(fā)明可以應(yīng)用于任何類型的帶電粒子，如電子、正電子、P介子、 離子(帶電原子或分子)等。背景技術(shù)針對更小且更復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)裝置的增長需求和針對該微結(jié)構(gòu)裝置的 加工和檢査工序中的吞吐率增長的持續(xù)需求，刺激了對使用多個帶電粒 子細(xì)束(beamlet)來代替單個帶電粒子束的粒子光學(xué)系統(tǒng)的開發(fā)，由此， 顯著提高了這種系統(tǒng)的吞吐率。多個帶電...
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