技術編號：2925918
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于平面顯示、微電子科學與、真空科學與以及納米科學的相互交叉領域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內容，特別涉及到帶有集成化階梯狀槽柵結構的、碳納米管陰極的場致發(fā)射平面顯示器件的制作工藝。背景技術 碳納米管是一種同軸的管狀物質，在外加電壓的作用下能夠發(fā)射出大量的電子，它具有小的尖端曲率半徑，高的縱橫比率，良好的場致發(fā)射特性以及優(yōu)良的物理化學穩(wěn)定性，是一種相當優(yōu)秀的冷陰極發(fā)射材料，已經引起了...
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