技術(shù)編號(hào)：2925597
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種端塊，其用于在濺射設(shè)備中可轉(zhuǎn)動(dòng)地承載濺射靶材。本發(fā)明特別涉及這樣的端塊，即，在考慮沿靶材的對(duì)稱軸線時(shí)端塊較為扁平，同時(shí)還安裝在用于激勵(lì)、冷卻、密封、支承和轉(zhuǎn)動(dòng)靶材的所有或一些必需裝置的內(nèi)側(cè)。背景技術(shù) 在各種中(如集中電路制造、大面積玻璃涂覆和如今更多地用于涂覆扁平面板顯示器)已廣泛采用了將材料從靶材濺射至基材上。這種濺射是在低氣壓環(huán)境下產(chǎn)生的，在該環(huán)境中，以控制方式導(dǎo)入濺射或反應(yīng)氣體或它們的混合物。在磁聚焦粒子軌道中跳越的自由電子電離在靶材表...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。