技術(shù)編號：2924864
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明一般涉及測量系統(tǒng)，尤其涉及一種便于現(xiàn)場更換測量系統(tǒng)部件的無線電頻率(RF)特性系統(tǒng)。背景技術(shù) 在典型無線電頻率(RF)等離子發(fā)生器裝置中，大功率RF發(fā)生器在預(yù)置頻率，例如13.56MHz產(chǎn)生RF電波，該RF電波通過電力導線施加給等離子室。由于在RF功率源和等離子室之間通常存在阻抗失配，因此在RF發(fā)生器和等離子室之間放置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。等離子室具有以非線性運行的特性，與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)中的線路損耗一起，共同導致了并非所有RF發(fā)生器的輸出功率都到達該等離子室。...
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