技術(shù)編號：2924238
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種離子收斂器及離子植布機，且特別是涉及一種包括組合結(jié)構(gòu)的離子收斂器及離子植布機。背景技術(shù)二十世紀以來，各項尖端科技如航太科技、電子儀器以及各種功能的電腦的發(fā)展，對半導(dǎo)體元件和電路的生產(chǎn)要求具有更高的性能，原有的生產(chǎn)技術(shù)限制了半導(dǎo)體性能的進一步提高，離子注入技術(shù)正是反應(yīng)這種需求而發(fā)展出來的一種半導(dǎo)體攙染新技術(shù)。離子注入是將具有一定能量的離子植入固體表面的方法，通過將原子引進固體基座的表面層或其中特定的位置，使得材料的表面和本體性能得到改善。目...
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