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制造微柱透鏡部件的方法及由該方法制造的微柱透鏡部件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2923630

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本發(fā)明總的來(lái)說(shuō)涉及一種制造電子束微柱透鏡部件的方法以及通過(guò)所述方法制造的透鏡部件,并且尤其涉及一種制造電子束微柱透鏡部件的方法以及具有很高分辨率的用于電子束光刻和電子顯微鏡的精細(xì)透鏡部件。背景技術(shù) 在1980年引入了按照掃描隧道顯微鏡(STM)基本原理工作的電子發(fā)射源和基于具有微結(jié)構(gòu)的電子光學(xué)元件的電子束微柱。在電子束微柱中,微元件被精細(xì)組裝以最小化光學(xué)數(shù)值,從而形成改進(jìn)的電子柱。而且,由于微結(jié)構(gòu),多個(gè)電子束微柱的設(shè)置采用串行或者并行的多個(gè)電子柱。所述微柱...
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