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一種用于離子注入機(jī)靶室的法拉第系統(tǒng)及離子束束流品質(zhì)檢測(cè)的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2922066

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本發(fā)明涉及離子束注入領(lǐng)域,具體為。背景技術(shù)早在20世紀(jì)60年代,離子注入技術(shù)就應(yīng)用在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)上。離子注入技術(shù)就是將某種元素的原子進(jìn)行電離,并使其在電場(chǎng)中加速,獲得較高的速度后射入固體材料的表面,以該表這種材料表面的物理或者化學(xué)性能的一種技術(shù)。從1858年世界上第一塊集成電路誕生至今的50多年中,世界集成電路技術(shù)與產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,經(jīng)歷小規(guī)模(數(shù)百個(gè)元件)、中規(guī)模、大規(guī)模、超大規(guī)模、到今天已進(jìn)入特大規(guī)模(千萬(wàn)以上個(gè)元件)的時(shí)代。隨著集成度的提高和電路規(guī)...
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