技術(shù)編號：2921882
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及熱電子陰極，特別是用于光刻中的熱電子陰極，也特別涉及多重束光刻系統(tǒng)。背景技術(shù) 熱電子陰極，更特別地，受控多孔性儲備型(dispenser type)熱電子陰極是本領(lǐng)域公知的。這些儲備式陰極(dispenser cathode)通常用于電視，計算機(jī)監(jiān)視器和微波爐。這樣的儲備式陰極通常包括帶有儲腔(reservoir)和發(fā)射表面的陰極主體，該儲腔包括填充有功函數(shù)降低材料的空腔，和加熱元件，其用于生成需要引起功函數(shù)降低粒子從儲腔中擴(kuò)散到發(fā)射表面上發(fā)射區(qū)...
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