技術(shù)編號(hào):2920907
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用圖案化發(fā)射體(patterned emitter)的電子束光刻裝置和圖案化發(fā)射體的制造方法,更具體地說(shuō),涉及一種使用熱電板(pyroelectricplate)作為電子束源的電子束光刻裝置以及一種制造圖案化發(fā)射體的方法,熱電板使用介電板作為掩模,介電板具有形成在其上的圖案化半導(dǎo)體薄膜。背景技術(shù) 已知的大面積電子投影光刻裝置包括熱電子式電子光刻裝置和光電陰極式電子投影裝置。熱電子式電子光刻裝置用電場(chǎng)和磁場(chǎng)控制電子束。然而,為了取得大面積電子...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。