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基于石墨烯的場發(fā)射三極結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2920510

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基于石墨烯的場發(fā)射三極結(jié)構(gòu)[0001]本實(shí)用新型是一種場發(fā)射三極結(jié)構(gòu),涉及場發(fā)射電子器件的器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及材料制備。背景技術(shù)[0002]場發(fā)射電子器件采用冷陰極做為電子發(fā)射源,具有響應(yīng)速度快、功率低和可靠性高等特點(diǎn)。但是,目前場致發(fā)射電子器件距離市場化還有一定的差距,存在一些關(guān)鍵技術(shù)瓶頸。其中三極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和制備是影響場發(fā)射器件實(shí)用化的一個(gè)重要因素。[0003]場致發(fā)射電子器件存在電子場致發(fā)射和電子聚焦/加速兩個(gè)物理過程,僅采用二極結(jié)構(gòu)不能夠獲得優(yōu)秀的電子束...
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