技術(shù)編號：2910751
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及尤其在一個真空處理設(shè)備中使材料進行陰極濺射的，特別是用于產(chǎn)生蒸汽的陰極。背景技術(shù) 根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，一個薄膜式陰極通常表現(xiàn)為一個底座，底座的厚度中有一些構(gòu)成冷卻流體流動通道的空腔。一個薄膜通常借助螺釘固定在該底座上。與薄膜的支撐底座相對，以鄰接的方式安裝有一個用于材料濺射的靶。薄膜通常由一種單一材料制成。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明，人們希望實現(xiàn)一種新型陰極，它的冷卻器具有特別有意義的特征。根據(jù)本發(fā)明，陰極具有一個由一個冷卻器構(gòu)成的靶支座，該冷卻器包括一個支撐...
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