技術編號：2908968
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般地涉及聚焦帶電粒子束系統(tǒng)并且具體地涉及用于生成聚焦帶電粒子束的帶電粒子源。背景技術在包括電子顯微鏡和聚焦離子束系統(tǒng)的帶電粒子系統(tǒng)中，典型地使用鏡筒將帶電粒子束聚焦到要使用該波束進行成像和(可選地)處理的目標的表面上。在這些鏡筒中，帶電粒子源生成初始的電子或離子束，然后將初始的電子或離子束傳遞到帶電粒子“槍”中， 該帶電粒子“槍”典型地將帶電粒子聚焦成大致平行的波束，該大致平行的波束進入鏡筒的主體，在該主體處可以消隱(blank)(即開啟和關閉)該...
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