技術(shù)編號：2908250
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種短弧型放電燈，特別是涉及用于半導(dǎo)體或液晶制造領(lǐng)域等的曝光用光源或投影儀的背光用光源的短弧型放電燈。背景技術(shù)短弧型放電燈因其發(fā)光管內(nèi)相對配置的一對電極的前端距離短，接近點(diǎn)光源，因此通過與光學(xué)系統(tǒng)組合，用作曝光裝置或投影儀的背光用的光源。日本特開平10-188890號公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中公開了現(xiàn)有的短弧型放電燈。圖13表示該現(xiàn)有的短弧型放電燈，短弧型放電燈的發(fā)光管20具有位于中央的形成大致球狀的發(fā)光部21及其兩端的封固部22。在發(fā)光部21內(nèi)，由鎢...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。