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離子源的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2907261

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本發(fā)明涉及具有捕獲從離子源的下游一側(cè)流入離子源的電子的磁場(chǎng)產(chǎn)生部件的離子源。背景技術(shù)在離子注入裝置、離子摻雜裝置或離子束定向裝置等離子束照射裝置的離子源中,使用了被稱為引出電極系統(tǒng)的、由多個(gè)電極構(gòu)成的電極組,用于把離子束引出。在專利文獻(xiàn)I的圖2中公開(kāi)了這樣的引出電極系統(tǒng)的例子。在此,作為構(gòu)成引出電極系統(tǒng)的電極,使用了等離子體電極、引出電極、抑制電極及接地電極等四個(gè)電極。等離子體電極決定引出的離子束的能量,引出電極用于在引出電極與等離子體電極之間產(chǎn)生電位差,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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