技術(shù)編號(hào)：2900692
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于等離子體發(fā)生裝置，具體涉及一種氣體放電等離子體射 流裝置。背景技術(shù)等離子體通常由正離子、中性粒子和電子組成， 一般等離子體可以 分為兩類熱平衡等離子體和非熱平衡等離子體。熱平衡表示等離子體 中所有粒子的溫度一樣。在非熱平衡等離子體中，電子的溫度可高達(dá)數(shù)萬度，而離子和中性 粒子的溫度遠(yuǎn)小于電子溫度，這種"熱的冷卻物"優(yōu)點(diǎn)眾多，非熱平衡 等離子體可作為高活性反應(yīng)物廣泛應(yīng)用于多種領(lǐng)域，如等離子體沉積和 鍍膜、刻蝕、表面處理、化學(xué)凈化，生物凈化以及醫(yī)學(xué)應(yīng)...
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