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一種反射式GaN紫外光電陰極材料結(jié)構(gòu)及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2900666

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本發(fā)明屬于紫外探測材料,具體涉及一種基于半導(dǎo)體材料外延技術(shù)、半導(dǎo)體 材料摻雜技術(shù)和超高真空表面激活技術(shù)相結(jié)合的紫外光電陰極材料結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)近年來,隨著GaN材料制備技術(shù)、p型摻雜技術(shù)的完善以及超高真空技術(shù)的發(fā)展,GaN 紫外光電陰極正成為一種新型高性能的紫外光電陰極。這種陰極的表面具有負(fù)電子親和勢 (NEA),即陰極的表面真空能級低于體內(nèi)導(dǎo)帶底能級,因此體內(nèi)光生電子只需運行到表面, 就可以輕而易舉地發(fā)射到真空而無需過剩動能去克服材料表面的勢壘,這樣電子的...
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