技術(shù)編號：2899422
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種共面電極結(jié)構(gòu)的微等離子體器件，結(jié)構(gòu)中含有浮動電極，對器件 的整體性能有很大的改善。背景技術(shù)微腔等離子體器件(Microcavity Plasma Devices,MPD)的特點(diǎn)是微腔尺寸小、放 電氣壓高。正是由于這兩個特點(diǎn)，而使MPD具有許多獨(dú)特的放電特性，已然成為現(xiàn)在的研究 I - ；°自1959年White第一次提出了微中空陰極輝光放電起，微等離子體已有了長足發(fā) 展。最初的微腔等離子體器件是從微中空電極器件發(fā)展而來，因此早期的微等離子體通...
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