技術(shù)編號：2897509
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于給構(gòu)成電弧蒸發(fā)裝置的陰極的靶子電極供電的裝置，用于借助于在陽極和陰極之間至少一個電弧電流產(chǎn)生的電弧點蒸發(fā)靶子電極，其中，靶子電極至少與支撐外圍導電連接，支撐本身通過至少一個導電連接連接到在蒸發(fā)裝置外面分布的供電接線上。背景技術(shù) EP 0 306 491 B1公開了一種上述類型的裝置。為將合金層涂覆到部件上，使用一個靶子電極，該靶子電極在其不同的活化表面段內(nèi)具有至少兩種不同的金屬。在按照DE 42 43 592 A1的電弧蒸發(fā)裝置中，通過勵磁線...
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