技術(shù)編號：2897496
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用來檢測通過圖象投影光學(xué)系統(tǒng)的投影形成的電子圖象的TDI檢測裝置、具有多個(gè)接觸針且用來在具有不同氣壓和/或不同氣體類型的條件例如分別利用真空環(huán)境與大氣環(huán)境的條件下實(shí)現(xiàn)高頻響應(yīng)特性的饋通裝置、應(yīng)用裝備有所述饋通裝置的TDI檢測裝置的電子束設(shè)備，此外還涉及應(yīng)用所述電子束設(shè)備的半導(dǎo)體器件制造方法。 背景技術(shù) 圖12示明先有技術(shù)的圖象投影型的電子束設(shè)備，其中一次電子束輻射到樣本的表面上，而從此樣本表面上發(fā)射出的二次電子束則圖象投影到多通道板(MCP)上，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。