技術(shù)編號：2896852
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及適用于光學(xué)濾光器等成膜工序的，特別涉及適用于制造WDM(Wavelength Division Multiplexing，波分復(fù)用)技術(shù)所用的WDM用濾光片的。背景技術(shù) 在日本專利特開平3-253568號公報中揭示了在玻璃板等基板上進行成膜用的轉(zhuǎn)盤型濺射裝置。轉(zhuǎn)盤型濺射裝置是旋轉(zhuǎn)式間歇型的濺射裝置，具有下述的結(jié)構(gòu)，即在腔室內(nèi)配置多邊柱形的基板保持架(旋轉(zhuǎn)鼓)，同時在腔室壁內(nèi)側(cè)設(shè)置保持有矩形靶的磁控管。一面使安裝了基板的基板保持架旋轉(zhuǎn)，一面對磁控管...
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