技術編號：2896347
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及使光照射區(qū)域中的照度分布均勻的積分儀以及具備該積分儀的光照射裝置。背景技術作為曝光裝置等的光源裝置使用光照射裝置(例如，參照專利文獻1)。圖5示出了通常作為曝光裝置等的光源裝置進行使用的光照射裝置的結構例。從 燈101射出的光被聚光鏡102聚光，利用第一反射鏡103對光路進行反射，然后經快門104 入射至積分儀105。積分儀105具有使入射至其透鏡的光的照度分布在被照射面上均勻的功能。然 后，從積分儀105射出的光被第二反射鏡106反射，入射至準...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。