技術(shù)編號：2895702
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適用于半導(dǎo)體或液晶的制造領(lǐng)域等的曝光用光源，或是放映機(jī)或 數(shù)字電影等的光源的短弧型放電燈。背景技術(shù)封入有水銀的短弧型放電燈的相對配置于發(fā)光管內(nèi)的一對電極的前端距離短，接 近于點光源，因而通過與光學(xué)系統(tǒng)組合，可以用作聚光效率高的曝光裝置的光源。并且，封 入氙(Xe)的短弧型放電燈在放映機(jī)等中被用作可視光的光源。近年來也用作數(shù)字電影用 光源。在這些短弧型放電燈中，一直以來公知在陰極中含有電子放射物質(zhì)(以下，僅稱 為發(fā)射體)。并且，作為具備含有發(fā)射...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。