技術(shù)編號(hào)：2895655
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在形成于陰極電極上的絕緣層及柵極電極形成有孔洞且在該孔 洞的底部設(shè)置有與陰極電極導(dǎo)通的射極的構(gòu)造的冷陰極電子源，特別是關(guān)于可在短時(shí)間在 寬廣的面積施予孔洞加工且形成的孔洞徑具有一定范圍內(nèi)的變異(variation)的冷陰極 電子源的制造方法，及由該制造方法所制造的冷陰極電子源。背景技術(shù)一般的史品脫(Spindt)型冷陰極電子源形成為下述構(gòu)造在形成于襯底上的陰 極電極上疊層有絕緣層及柵極電極，在該絕緣層與柵極電極形成有孔洞，在該孔洞的底部 以與...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。