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準(zhǔn)分子燈的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2891906

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本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)分子燈,其具備由二氧化硅玻璃構(gòu)成的放電容 器,在夾著形成該放電容器的二氧化硅玻璃的狀態(tài)下設(shè)有一對電極, 在上述放電容器的內(nèi)部產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電。先前技術(shù)近年來,開發(fā)了例如通過將波長200nm以下的真空紫外光照射在 由金屬、玻璃及其它材料構(gòu)成的被處理體上,而在該真空紫外光及由 此所生成的臭氧的作用下處理被處理體的技術(shù),例如除去附著于被處 理體的表面的有機(jī)污染物質(zhì)的清洗處理技術(shù)、或在被處理體的表面形 成氧化膜的氧化膜形成處理技術(shù),并將這些技術(shù)實(shí)用化...
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