技術(shù)編號：2870426
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種用于離子束刻蝕機(jī)的大口徑平行束離子源。所述大口徑平行束離子源主要由安裝法蘭、支桿、放電室、磁場部件、陽極、放電燈絲、中和燈絲、內(nèi)罩以及絕緣件組成。磁場部件安裝在放電室底部，陽極及放電燈絲安裝在放電室內(nèi)，柵網(wǎng)部件安裝在放電室出口。本發(fā)明離子源所用磁場部件磁場區(qū)域大于放電室內(nèi)徑，放電燈絲及陽極高度可調(diào)，可根據(jù)實(shí)際工藝實(shí)驗(yàn)獲取最佳位置，從而提高離子源出口離子束的性能。專利說明一種用于離子束刻蝕機(jī)的大口徑平行束離子源 [0001]本發(fā)明涉及一...
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