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一種場(chǎng)發(fā)射電子源發(fā)射體尖端塑形裝置及其塑形方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2867945

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本發(fā)明公開了。本發(fā)明的塑形裝置包括真空腔室、真空抽氣系統(tǒng)、真空度測(cè)量系統(tǒng)、電子槍組件、電源系統(tǒng)和電子束成像系統(tǒng)。本發(fā)明在場(chǎng)發(fā)射電子源發(fā)射體尖端加熱發(fā)生鈍化,并在陽極上加載臨界電場(chǎng)形成場(chǎng)致發(fā)射,發(fā)射體尖端的表面張力和附加電場(chǎng)產(chǎn)生的電場(chǎng)力在表面達(dá)到平衡,實(shí)現(xiàn)塑形;經(jīng)過場(chǎng)發(fā)射電子源發(fā)射體尖端塑形后,其發(fā)射體尖端形成穩(wěn)定的發(fā)射面,穩(wěn)定的發(fā)射面能使場(chǎng)發(fā)射電子源發(fā)射的電子束束流具有發(fā)射電流大,發(fā)射方向集中,角電流密度高,單色性好和穩(wěn)定的束流發(fā)射等特點(diǎn)。專利說明[000...
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