技術(shù)編號(hào)：2867902
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種離子源和氣泵集成裝置，包括框架組，所述框架組包括面板，所述面板包裹形成空腔結(jié)構(gòu)，所述面板設(shè)有出風(fēng)孔；陰極組，所述陰極組設(shè)置于所述框架組內(nèi)；陽(yáng)極組，所述陽(yáng)極組設(shè)置于所述框架組內(nèi)，所述陽(yáng)極組和所述陰極組相對(duì)設(shè)置。上述離子源和氣泵集成裝置，利用陽(yáng)極組和陰極組在高壓下通過電暈放電或輝光放電實(shí)現(xiàn)電離物質(zhì)的功能，同時(shí)在放電過程中，產(chǎn)生了離子風(fēng)，離子風(fēng)從出風(fēng)孔流出，攜帶電離產(chǎn)生的離子進(jìn)入后續(xù)的分離或檢測(cè)裝置。上述離子源和氣泵集成裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，同時(shí)實(shí)現(xiàn)并整合了離子源和...
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