技術(shù)編號：2867694
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明設(shè)計了一種實(shí)驗(yàn)室用感應(yīng)等離子處理設(shè)備，由陶瓷支架、感應(yīng)器、O型橡膠密封圈、圓形底座及石英管組成，其特征是，所述設(shè)備可抽真空且側(cè)面帶進(jìn)氣孔的大小頭敞開式石英管作為反應(yīng)室，內(nèi)置于底座和感應(yīng)器內(nèi)，管內(nèi)真空度1.5～3kPa，管側(cè)面進(jìn)氣孔與小頭出氣孔內(nèi)徑5～6mm，其與底座間通過過盈配合的密封圈密封；底座上表面與石英管進(jìn)氣孔距離15～20mm；感應(yīng)器由銅質(zhì)空心管彎制成3～4匝，內(nèi)徑300～500mm，震蕩頻率2.5～5MHz；支架頂部高出感應(yīng)器底部5～10m...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。