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基板處理裝置及半導(dǎo)體器件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2867454

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一種基板處理裝置,向處理容器交替地供給第1處理氣體和等離子化的第2處理氣體來(lái)處理基板,該基板處理裝置具有供給上述第1處理氣體的第1氣體供給系統(tǒng);供給上述第2處理氣體的第2氣體供給系統(tǒng);配置在上述處理容器的上游且至少使上述第2處理氣體等離子化的等離子體單元;和控制部,該控制部以交替地供給上述第1處理氣體和上述第2處理氣體的方式控制上述第1氣體供給系統(tǒng)和上述第2氣體供給系統(tǒng),并且,以在開(kāi)始供給上述第2處理氣體之前執(zhí)行上述第2處理氣體的等離子化所需要的電力施加的...
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  • 高老師:1.電力電子及應(yīng)用 2.嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用