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一種核聚變裝置的移動(dòng)式射頻輝光電極的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2861954

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本實(shí)用新型屬于一種核聚變裝置真空室器壁處理裝置,具體涉及一種核聚變裝置的移動(dòng)式射頻輝光電極,它包括螺旋式射頻電極、伸縮驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),伸縮驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有螺旋式射頻電極。其優(yōu)點(diǎn)是,射頻電極采用碟形波紋管運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行驅(qū)動(dòng),可根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求方便快速調(diào)整電極位置。螺旋式結(jié)構(gòu)電極工作在高頻交變電場(chǎng)作用下,增加了電子與氣體分子發(fā)生碰撞的幾率增加,對(duì)清除真空室器壁表面的低質(zhì)量數(shù)雜質(zhì)效率更高。電極冷卻采用了水冷結(jié)構(gòu),降低了電極因長(zhǎng)時(shí)間使用發(fā)生變形的幾率。提高了該系統(tǒng)運(yùn)行的安全性。...
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