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一種合金型二次電子發(fā)射材料激活裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2858926

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為了滿足合金型二次電子發(fā)射材料不同激活工藝條件下的工藝參數(shù)要求,本實(shí)用新型提供了一種合金型二次電子發(fā)射材料激活裝置,能夠在不同激活工藝參數(shù)條件下激活處理合金型二次電子發(fā)射材料,其特征在于所述裝置包括真空系統(tǒng)、氧化性氣體源和反應(yīng)室;其中,真空系統(tǒng)和氧化性氣體源均與反應(yīng)室相連,氧化性氣體源包括氣體反應(yīng)制備室、貯氣瓶、氣壓表和氣體質(zhì)量流量計(jì),氣體反應(yīng)制備室與貯氣瓶連通,并通過(guò)氣體質(zhì)量流量計(jì)與反應(yīng)室相連,氣體反應(yīng)制備室可以制取高純度的氧化性氣體,并貯存在氣瓶中,氣...
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