技術(shù)編號：2855466
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的具有自主管理功能的遠(yuǎn)程等離子體系統(tǒng)，從遠(yuǎn)程等離子體發(fā)生器中產(chǎn)生的等離子體供應(yīng)給工藝腔室的過程中，可實(shí)時(shí)確認(rèn)遠(yuǎn)程等離子體發(fā)生器的運(yùn)行狀態(tài)信息及在工藝腔室內(nèi)的等離子體處理工藝進(jìn)行狀態(tài)信息。由此，流程管理人員可實(shí)時(shí)掌握遠(yuǎn)程等離子體系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)，在發(fā)生非正常運(yùn)行的情況下，可立即采取應(yīng)對措施。此外，流程管理人員可在需要維護(hù)系統(tǒng)時(shí)，實(shí)時(shí)掌握相關(guān)信息，以提高維護(hù)效率。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及等離子體處理系統(tǒng)，具體而言，涉及遠(yuǎn)程等離子體系統(tǒng)，將通過...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。