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執(zhí)行帶電粒子顯微鏡中的樣本的斷層成像的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2855107

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一種,包括下面的步驟提供帶電粒子束;在能夠相對(duì)于所述束被傾斜的樣本夾持器上提供所述樣本;導(dǎo)向所述束通過(guò)所述樣本并且以便在圖像檢測(cè)器處形成所述樣本的圖像;在第一系列的樣本傾斜角的每一個(gè)處重復(fù)此過(guò)程以便獲得對(duì)應(yīng)的圖像集合;數(shù)學(xué)地組合來(lái)自所述集合的圖像以便構(gòu)造合成圖像,所述方法包括下面的步驟選擇第二系列的樣本傾斜角;在所述第二系列的樣本傾斜角的每一個(gè)處,使用頻譜檢測(cè)器來(lái)生成所述樣本的頻譜圖,從而獲得頻譜圖的集合;分析所述頻譜圖以得到與所述樣本有關(guān)的合成數(shù)據(jù);在構(gòu)...
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