技術(shù)編號：2854478
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種等離子體反應(yīng)腔室阻抗的自動匹配方法，包括如下步驟a)、設(shè)定可調(diào)阻抗元件的初始阻抗值；b)、判斷同軸電纜上測得的反射功率是否大于第一閾值；若是，則執(zhí)行步驟c)，否則，循環(huán)執(zhí)行步驟b)；c)、判斷射頻電源的頻率是否穩(wěn)定；若是，則執(zhí)行步驟d)，否則，循環(huán)執(zhí)行步驟c)；d)、判斷同軸電纜上測得的反射功率是否大于第二閾值；若是，則執(zhí)行步驟e)，否則，回到步驟b)繼續(xù)執(zhí)行；e)、以一調(diào)節(jié)步長調(diào)節(jié)可調(diào)阻抗元件阻抗值，調(diào)節(jié)步長與同軸電纜上對地電壓與電流的相位...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。