亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

用于處理基板的裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2854263

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明提供了一種利用等離子的基板處理裝置?;逄幚硌b置包括殼體,其具有在其中進(jìn)行基板處理的內(nèi)部空間;支撐件,其布置在殼體內(nèi)以支撐基板;氣體供給單元,其將氣體供給到殼體中;等離子源,其從供給到殼體中的氣體產(chǎn)生等離子;以及導(dǎo)流件單元,其布置為圍繞在殼體內(nèi)的支撐件,導(dǎo)流件單元包括導(dǎo)流件,其中限定用于將氣體排放到殼體的內(nèi)部空間中的通孔。當(dāng)從上面觀察時(shí)導(dǎo)流件被分成多個(gè)區(qū)域,并且所述多個(gè)區(qū)域的一部分由金屬材料形成,并且所述多個(gè)區(qū)域的其它部分由非金屬材料形成。專(zhuān)利說(shuō)明用...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 高老師:1.電力電子及應(yīng)用 2.嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用