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實(shí)現(xiàn)快速散熱的法拉第屏蔽裝置及等離子體處理裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2853456

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本發(fā)明公開了一種實(shí)現(xiàn)快速散熱的法拉第屏蔽裝置及等離子體處理裝置,通過(guò)將等離子體反應(yīng)腔上方的介電窗口靠近射頻線圈的表面涂覆金屬法拉第屏蔽裝置,避免了傳統(tǒng)的板狀法拉第屏蔽裝置受熱發(fā)生變形導(dǎo)致的和介電窗口貼合不緊密,不能迅速的把介電窗口的熱量傳送到反應(yīng)腔外部的技術(shù)問(wèn)題,通過(guò)采用噴涂或蒸鍍等方法,將法拉第屏蔽裝置和介電窗口緊密貼合在一起,同時(shí)在法拉第屏蔽裝置表面或內(nèi)部設(shè)置導(dǎo)熱部件,快速降低等離子體反應(yīng)腔的溫度,實(shí)現(xiàn)等離子體加工工藝的穩(wěn)定和均勻。專利說(shuō)明實(shí)現(xiàn)快速散熱...
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