技術(shù)編號：2853290
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供的托盤及等離子體加工設(shè)備，用于承載被加工工件，并借助熱交換氣體對被加工工件的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，而且，在托盤的上表面形成有凹部，該凹部的數(shù)量和位置與被加工工件的數(shù)量和位置一一對應(yīng)，并且每個凹部和與之一一對應(yīng)的被加工工件的下表面的中心區(qū)域之間形成閉合空間，并且，在凹部的底面上分布有多個進(jìn)氣孔，熱交換氣體經(jīng)由進(jìn)氣孔流入閉合空間內(nèi)。本發(fā)明提供的托盤，其不僅可以一定程度地改善被加工工件的邊緣區(qū)域的溫度控制效果，以提高被加工工件的中心區(qū)域與邊緣區(qū)域的溫度均勻性，...
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