技術編號：2852745
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種磁控管組件及磁控濺射設備，包括磁軛背板以及排列在所述磁軛背板上以形成預定形狀的磁控管的磁體，并且在所述磁軛背板上設置有貫穿其厚度的多個背板通孔，每個所述磁體與所述多個背板通孔中的其中一個可旋轉地連接，并且所述磁體相對于所述背板通孔旋轉的旋轉軸偏離所述磁體的中心軸，且與所述背板通孔的軸線重合。本發(fā)明提供的磁控管組件無需采用磁鐵連接件就可以單獨調(diào)整每個磁體與磁軛背板之間的相對位置，從而不僅調(diào)整過程簡單、靈活性好，而且還可以降低加工難度以及制造和加...
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