技術(shù)編號：2852386
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種用于TEM樣品制備和分析的方法，該方法可以用于FIB-SEM系統(tǒng)中，而不需要對薄層或機(jī)動(dòng)化的翻轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行重焊、卸載、用戶處理。該方法允許具有典型傾斜臺(tái)的雙束FIB-SEM系統(tǒng)用于提取樣品以形成襯底、將樣品安裝至能夠傾斜的TEM樣品支座上、用FIB銑削將該樣品打薄、以及旋轉(zhuǎn)樣品從而使得樣品面垂直于用于STEM成像的電子柱。專利說明用于橫截面視圖薄層的背側(cè)打薄的高吞吐量TEM制備工藝和硬件[0001]本發(fā)明涉及用于在帶電粒子束系統(tǒng)中觀察的樣品的制備。背景技術(shù)...
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