技術(shù)編號(hào)：2850837
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種監(jiān)測(cè)掃描電子顯微鏡（SEM）的電子束狀態(tài)的方法和裝置。SEM包括電子槍和電磁透鏡系統(tǒng)。電子槍發(fā)出的電子束作為電磁透鏡系統(tǒng)的輸入電子束，經(jīng)過(guò)電磁透鏡系統(tǒng)后作為輸出電子束入射到樣品表面，電磁透鏡系統(tǒng)以一組工作參數(shù)來(lái)表示電磁透鏡系統(tǒng)對(duì)輸入電子束的調(diào)整操作。監(jiān)測(cè)方法包括第一獲取步驟，用于獲取輸入電子束的質(zhì)量參數(shù)；第二獲取步驟，用于獲取電磁透鏡系統(tǒng)當(dāng)前的一組工作參數(shù)；計(jì)算步驟，用于根據(jù)輸入電子束的質(zhì)量參數(shù)與當(dāng)前的一組工作參數(shù)中的一個(gè)或多個(gè)工作參...
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