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用于電子顯微鏡的對(duì)中裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2849579

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本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于電子顯微鏡的對(duì)中裝置,具體是一種在超高真空內(nèi),發(fā)射源部件與鏡筒部件連接的絕緣平行對(duì)中裝置,屬于儀器儀表領(lǐng)域,具體涉及電子顯微鏡技術(shù)。背景技術(shù)發(fā)射源部件(電子槍)是一個(gè)微小的高亮度電子源,通常工作在30kV加速電壓下,是電子光學(xué)系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件,其作用就是為整個(gè)透鏡系統(tǒng)提供一個(gè)穩(wěn)定的電子源以形成電子束。由于電子束直徑很小,透鏡系統(tǒng)中的路徑很長(zhǎng),對(duì)絕緣、平行、同軸精度要求都比較高,因此需要一種專門的對(duì)中裝置,可以一端連接發(fā)射源部件,另一端連...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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