技術(shù)編號：2818501
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，且特別涉及一種可 提高對準(zhǔn)精度的對準(zhǔn)基準(zhǔn)板及其制造工藝方法。背景技術(shù)在工業(yè)裝置中，由于高精度和高產(chǎn)能的需要，分布著大量高速實時測量、 信號采樣、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)交換和通信傳輸?shù)鹊膫鞲衅餮b置和控制系統(tǒng)。這些 系統(tǒng)需要我們采用多種方式實現(xiàn)傳感器探測、信號采樣控制、數(shù)據(jù)采集控制、數(shù)據(jù)交換控制和數(shù)據(jù)傳輸通信等的控制。有該控制需求的裝置包括集成電路 制造光刻裝置、平板顯示面板光刻裝置、MEMS/MOEMS光刻裝置、先進(jìn)封裝 光刻裝置、印刷電路板光刻裝置、印...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。