技術(shù)編號(hào)：2818432
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)領(lǐng)域，涉及一種投影物鏡，特別涉及一種折射式投影物鏡。 背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體芯片特征尺寸的不斷減小，為了得到更加精細(xì)的結(jié)構(gòu)，投影物鏡所使用的波長在不斷減少，目前使用的lOOnm節(jié)點(diǎn)及以下技術(shù)中，工作波長 248nm、 193nm被大量使用，同時(shí)投影物鏡像方數(shù)值孔徑也在不斷增大。美國專利US2003/0147061中給出了幾種投影物鏡結(jié)構(gòu)，均針對(duì)193nm波長 設(shè)計(jì)，放大倍率0.25，像方數(shù)值孔徑0.75，其中第八個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，如圖1 所示，具有...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。