技術編號：2818185
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種干涉光學元器件，具體涉及一種采用激光干涉法制作亞微 米結構的光學鏡頭的結構，屬于微納米結構制造領域。背景技術亞波長光學是當前研究的熱點，亞波長光學器件由于其微結構在亞波長尺 度(50-400nm)，表現(xiàn)出了 一般衍射光學元件所不具備的光學特性，如光譜窄 帶、偏振、導光、表面抗反射等特性，亞波長結構在提髙OLED光抽取效率 方便具有應用價值。對可見光而言，亞波長結構一般具有400nm以下的尺度， 需要采用超微細加工手段才能夠實現(xiàn)，最典型的方法是...
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