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多晶硅層的制作方法技術資料下載

技術編號:2818007

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背景技術 本發(fā)明是有關于一種,且特別是有關于一種通過具有低熱傳導特性(low thermal conductivity)的多孔材料層(porous layer)以形成較大晶體尺寸(grain size)的。背景技術 低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器(Low Temperature PolySiliconLiquid Crystal Display,LTPS LCD)有別于一般傳統(tǒng)的非晶硅薄膜晶體管液晶顯示器(a-Si TFT-LCD),其電子遷移率可以達到2...
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