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探針單元及檢查裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2817946

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本發(fā)明涉及一種用于檢查液晶面板等檢查對象板的探針 單元及檢查裝置。背景技術(shù)通常,通過在探針上形成全接地面來控制電氣特性。作為該例子已有專利文獻(xiàn)1 ?;趫D2和圖3概括地i兌明專利文獻(xiàn)1的 探針。被檢查設(shè)備1的5個電極排列成一列,其中4個是電源電極 2, l個是接地電極3。配置在配線板4下側(cè)即被檢查設(shè)備1側(cè)的電 源配線5和接地配線6與被檢查設(shè)備1的多個電極相接觸。電源配 線5和接地配線6對準(zhǔn)電源電極2和接地電極3的位置進(jìn)行配置。在配線板4上,在與接地配線6相...
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