技術(shù)編號(hào)：2817142
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)編碼器，并且涉及該編碼器在一種光刻設(shè)備和器件制造方法 中的示例性的應(yīng)用。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底或襯底的一部分上的機(jī)器。例如，可以將 光刻設(shè)備用于制造平板顯示、集成電路(ICs)以及其他包括精細(xì)結(jié)構(gòu)的器件。在常規(guī)設(shè)備 中，可以將通常稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于生成與平板顯示器(或其他器件) 的單個(gè)層一致的電路圖案?？梢酝ㄟ^(guò)成像到提供在襯底上的輻射敏感材料(例如光致抗蝕 劑)層上而將該圖案轉(zhuǎn)移到襯底(例如玻璃板)的全...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。