技術(shù)編號(hào)：2816978
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及通過雙光子工藝來激光加工工件的設(shè)備和方法。 背景技術(shù)通常，通過雙光子工藝的工件的激光束加工通過在工件上或在工件中移動(dòng)激光束 焦點(diǎn)來進(jìn)行，并且還已知為激光寫入或激光掃描光刻。用于該目的的設(shè)備和方法根據(jù)本領(lǐng) 域的現(xiàn)狀是已知的，并且通常利用例如光敏抗蝕劑的工件的聚合。在J.-M. Lourtioz的自 然材料(Nature Materials) 3, 427(2004)和 Μ. Deubel 等的自然材料 3，444 (2004)中可找 到各個(gè)描述。例...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。