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使用與選區(qū)沉積相結(jié)合的著色掩模的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2816969

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本發(fā)明涉及一種可用于形成電學(xué)和光學(xué)元件的著色掩模方法。 背景技術(shù)許多電子元件的制造,包括平板顯示器、RFID標(biāo)簽和各種傳感應(yīng)用在內(nèi),都依賴于 精確圖案化施加在相對較大基底上的電活性材料層。這些產(chǎn)品由若干層不同圖案化的材料 組成,其中重要的是這些層處于特定的配準(zhǔn)(registration)。圖案化精確性的原因有兩重。 首先,必須在基底的大區(qū)域上復(fù)制圖案化的特征并同時對它們的尺寸擁有精確控制。其次, 具有這些特征的產(chǎn)品通常是由若干層不相同但又相互作用的圖案化的...
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