技術(shù)編號：2816546
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及擺動體裝置及其制造方法、采用該擺動體裝置的光學(xué)偏轉(zhuǎn)器、以及圖像形成裝置。 例如，本發(fā)明涉及能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)偏轉(zhuǎn)器的技術(shù)，其使用可適當(dāng)應(yīng)用于圖像形成裝 置的擺動體裝置，該圖像形成裝置是例如通過光線的偏轉(zhuǎn)掃描來投影圖像的投影顯示器、 具有電子照相處理器的激光束打印機、以及數(shù)字復(fù)印機。背景技術(shù)至今，利用半導(dǎo)體工藝由晶片制造的微型機械部件已可處理微米數(shù)量級，且通過 采用這些部件，已可實現(xiàn)各種微型機械部件。 例如，作為使利用此技術(shù)形成的可動元件(擺動板)扭轉(zhuǎn)振...
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